Étude sur les caractéristiques thermiques de 266 nm laser ultraviolet profond généré par Bbo Crystal - 04

03Résultats et analyses expérimentales

Lorsque la puissance d'entrée du feu vert est inférieure à 4 W, la température correspondante du cristal BBO a peu d'effet sur la puissance de sortie du laser à 266 nm quadruplé, et lorsque la puissance optimale de la sortie de la lumière ultraviolette est obtenue, le décalage de température ΔTdu dispositif de chauffage a également tendance à être cohérent; Lorsque la puissance d'entrée du feu vert est supérieure à 8 W, plus la température correspondante du cristal BBO est élevée(www.wisoptic.com), plus le décalage de température est petit ΔTdu dispositif de chauffage, et plus la puissance de sortie est élevée du laser 266 nm. Par conséquent, il est nécessaire d'établir un modèle théorique approprié pour explorer la cause profonde de la génération de chaleur du cristal BBO pendant le processus quadruplé et pour mener des recherches théoriques sur les caractéristiques thermiques des cristaux avec différentes températures correspondantes.

Afin de mieux comprendre les caractéristiques de sortie du laser en profondeur ultraviolet 266 nm à différentes températures correspondantes, la qualité du faisceau du laser ultraviolet profond de 266 nm obtenu a été mesurée à l'aide d'un profileur de faisceau ultraviolet lorsque la température correspondante en cristal était de 60 ° C. Il a été constaté que les facteurs de qualité du faisceau dans les directions X et Y étaient de 1,66 (M²_x) et 1,68 (M²_y), respectivement, comme le montre la figure 3 (a). De plus, la stabilité de puissance du laser ultraviolet profond de 266 nm obtenu à ce moment a été enregistrée, comme le montre la figure 3 (b).TLa stabilité de puissance du laser 266 nm dans les 1 h était meilleure que 4,7% (RMS). Une fois que la température de correspondance des cristaux a été augmentée à 180 ° C, les facteurs de qualité du faisceau dans les directions X et Y peuvent être augmentés à 1,62 et 1,52, respectivement, et la stabilité de puissance peut être meilleure que 4,0% (RMS). Comme le montre la figure 3, l'augmentation de la température d'appariement peut également améliorer la qualité du faisceau et la stabilité à long terme du laser ultraviolet profond généré dans une certaine mesure.

Enfin, la longueur d'onde centrale du laser d'impulsion ultraviolette a été mesurée par un spectromètre à 265,7 nm, et la largeur de ligne était de 0,354 nm, comme le montre la figure 4 (a). La largeur d'impulsion unique du laser ultraviolet profond de 266 nm a été mesurée par un photodétecteur à 4 ns à une fréquence de répétition de 20 kHz, et la séquence d'impulsions était uniforme et stable, comme le montre la figure 4 (b).

Fig. 3 Résultats expérimentaux. (a) qualité du faisceau et (b) stabilité de puissance du laser DUV 266 nm lorsque la température de correspondance de phase du cristal est de 60 ℃; (c) Qualité du faisceau et (d) stabilité de puissance du laser DUV 266 nm lorsque la température de correspondance de phase du cristal est de 180 ℃

Fig. 4 Caractéristiques de sortie du laser DUV 266 nm. (a) Largeur spectrale; (b) Largeur d'impulsion