Suivi et compréhension des événements de dommages laser dans l'optique - Partie 11

3.3 Prétraitement au laser de   film diélectrique avec  grand diamètre

La technologie de prétraitement laser est le dernier processus avant la fourniture de composants de grand diamètre avec film diélectrique   dans les appareils NIF aux États-Unis. LLNL fournit le dispositif de prétraitement  au laser ir et   spécifications   à chacun de leurs fournisseurs de composants en couches minces . Pour le film diélectrique, le rôle du prétraitement laser est d'éliminer les nodules et défauts restants après l'optimisation du processus de revêtement, ce qui est une garantie très importante pour la fourniture d'ingénierie à grande échelle de revêtement diélectrique   composants ||| | avec un grand   diamètre. L'un des buts  est de supprimer les défauts et d'améliorer la capacité à résister aux dommages. L' autre objectif est  d'évaluer pleinement si l'élément à couche mince répond aux exigences du flux de fonctionnement final dans le système laser.

À l'heure actuelle, la technologie de prétraitement au laser a été appliquée à la production   du miroir de transmission (TM), du miroir coudé (ZJ) et du polariseur (PL) en Chine, et est devenu le dernier processus de fabrication  de films diélectriques de grand diamètre. La taille de TM  est de 610 mm × 430 mm × 85 mm, et la taille du polariseur et du miroir coudé est de 810 mm × 430 mm × 90 mm. La résistance aux dommages laser des composants après prétraitement au laser est illustrée à la figure 15. Le seuil de dommage fonctionnel du miroir de transmission atteint 30 J/cm ² (1064 nm, 5 ns), et le seuil de dommage fonctionnel du miroir coudé et le polariseur atteint 14 J/cm ² (1064 nm, 5 ns).

L'état de surface du film diélectrique après prétraitement au laser est illustré à la figure 16, où l'échelle des piqûres ne dépasse pas 15 μm, l'échelle latérale de l'ablation au plasma ne dépasse pas 300 μm et la profondeur verticale ir   ne dépasse pas dépasser 30 nm. Sur la base de l'état actuel de l'ablation au plasma de surface après le prétraitement au laser du film diélectrique, l'influence du film diélectrique à grande ouverture sur la qualité du faisceau après le prétraitement a été simulée et analysée. L'effet de faisceau est négligeable, comme le montrent les figures 17(a) et (b). L' effet du prétraitement au laser sur PSD2 a été analysé par un test de profilomètre, et les résultats ont montré que le PSD2   a augmenté après le prétraitement, mais il était toujours dans la plage requise de 1,1 nm, comme le montre la figure 17(c).

 On peut voir que le processus de prétraitement au laser n'affectera pas de manière significative la qualité du faisceau tout en améliorant la capacité anti-destructrice du composant. Il convient de noter que les données indiquées en rouge sur la figure 15 signifient que ces trois composants ont été prouvés , lors du processus de prétraitement au laser ,   ne pas répondre aux exigences du  design ed  flux   dans le système laser haute puissance, ils ne seront donc pas utilisés.